LuphoScan系統(tǒng)能夠?yàn)楦哔|(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測量提供*佳效益：
*對任何旋轉(zhuǎn)對稱的表面的深入分析： 非球面、球面、平面和自由曲面
*超高、可重復(fù)精度：≦±50nm
*可測量任何材料：透明、鏡面、不透明、拋光、研磨
*大球面的偏離： 不受限制。例如：能夠測量盤式或者鷗翼表面，以及彎曲點(diǎn)的輪廓
*大斜坡： 可達(dá)90°（例：半球測量）
*高靈活度：測量局部面、環(huán)形光學(xué)透鏡、矩形表面、衍射面結(jié)構(gòu)表面、錐透鏡
*完整透鏡特征：透鏡厚度、楔形誤差、偏心誤差、透鏡安裝位置
*直徑：120mm、260mm或者420mm
*高速測量：
例：1:58分（￠=30mm,Roc=60mm,100點(diǎn)/mm2）
或者5:29分（￠=130mm,Roc=150mm,50點(diǎn)/mm2）
LuphoScan測量平臺(tái)上被測物傳感器的移動(dòng)軸 The LuphoScan測量平臺(tái)
基于多波長干涉技術(shù)的光學(xué)計(jì)量應(yīng)用
特征
與其設(shè)計(jì)非球面的形狀偏差
特殊的基準(zhǔn)概念能夠提供 *高精度測量
測量精度
該系統(tǒng)使用了復(fù)雜的參考傳感器以及特殊的基準(zhǔn)框架概念，能夠確保*高精度的測量結(jié)果，精度可在±50nm(2σ)以上。
基準(zhǔn)框架概念
每一臺(tái)LuphoScan測量平臺(tái)均由殷鋼基準(zhǔn)框架組成，這是一種開放式回路技術(shù)框架。三個(gè)參考傳感器和一個(gè)圓柱軸、兩個(gè)平面反射鏡能夠確保在框架內(nèi)物體傳感器的位置。根據(jù)阿貝（Abbe）原理，這一概念能夠?qū)C(jī)械軸R、Z、T**階誤差進(jìn)行補(bǔ)償。基準(zhǔn)框架概念與極高精度的多波長干涉技術(shù)（MWLI®）相結(jié)合，超高精度C軸臺(tái)能夠確保形狀測量精度高于±50nm(2σ)，并且重復(fù)測量精度高于±20nm (2σ).
光學(xué)透鏡放置
測量平臺(tái)的默認(rèn)設(shè)置配有液壓膨脹夾具，可直接對生產(chǎn)過程中夾具上的透鏡進(jìn)行測量。將所要測量的透鏡安裝好，緊固在膨脹夾具上，啟用之前設(shè)置好的測量程序，然后開始測量。整個(gè)過程僅需要不到一分鐘的時(shí)間。此解決方案的精度調(diào)整適用于對于所有標(biāo)準(zhǔn)測量情況，能夠?qū)颖緝A斜和移位進(jìn)行自動(dòng)識別和校正。未鑲邊框的透鏡可以使用三爪夾具（可選）安裝。
校準(zhǔn)
所有所需的參考物體都包括在內(nèi)。校準(zhǔn)程序過程中，用戶可控制操作平臺(tái)對溫度適應(yīng)的變化。完整的校準(zhǔn)過程大約需要15分鐘左右。
圖：
基準(zhǔn)框架
花崗巖基座
基準(zhǔn)框架、傳感器臺(tái)(R, Z,T)布局圖和物體臺(tái)(C)
LuphoScan軟件屏幕截圖
直觀軟件設(shè)計(jì)便于操作和數(shù)據(jù)分析
數(shù)據(jù)輸入與測量過程
LuphoScan測量平臺(tái)配有的軟件能夠用于控制整個(gè)系統(tǒng)，包括預(yù)設(shè)測量程序、分析測量結(jié)果和打印測試報(bào)告。開始測量時(shí)，需要輸入一個(gè)關(guān)于測量表面描述，例如：輸入曲率半徑、圓錐常數(shù)或者測試部件的偶次或奇次非球面系數(shù)。隨后軟件會(huì)顯示被測物傳感器軌跡，能夠直接檢測是否輸入了正確的描述。此外，該軟件還能對SAG表格提供*為直接的對比方法。用戶可對數(shù)據(jù)空間分辨率進(jìn)行調(diào)節(jié)，程序能夠?qū)Υ颂峁p少測量時(shí)間的*佳辦法。測量過程中，屏幕還會(huì)顯示剩余測量時(shí)間。
數(shù)據(jù)分析
當(dāng)一次測量結(jié)束后，會(huì)直接顯示誤差圖的三維影像和剖面圖。同時(shí)還提供不同的工具選擇對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。傾斜和偏移補(bǔ)償，以及*佳擬合減法（球面或者非球面）能夠分別開啟和關(guān)閉。其它更多功能還包括光圈的精密調(diào)整，以及不同濾波器的選擇，例如低通濾波器或者高通濾波器。濾波器能夠消除由塵埃顆粒帶來的波峰等等。得出的數(shù)據(jù)可用于解釋拋光或者研磨后的表面（測量后）。誤差可以用垂直于理想表面或者平行于光軸的方式來表述。當(dāng)然，還能夠顯示所有標(biāo)準(zhǔn)的參數(shù)，包括Power、PV, RMS和Zernicke等的數(shù)值。
數(shù)據(jù)導(dǎo)出
測量數(shù)據(jù)能夠以3D形式或者2D輪廓線顯示出來。除此之外，本機(jī)軟件形式X、Y、Z、dN或者dZ (3D)、X、Z、dN或者dZ (2D)等多種形式可供使用。例如，數(shù)據(jù)能夠通過Zygos MetroPro XYZ形式(3D)和Taylor Hobsons MOD和PRF形式(2D)導(dǎo)出。這些形式能夠直接用于生產(chǎn)線，例如：對拋光過程進(jìn)行修正。
應(yīng)用
LuphoScan技術(shù)能夠發(fā)揮*大靈活性
主要應(yīng)用領(lǐng)域
LuphoScan測量系統(tǒng)用于測量可旋轉(zhuǎn)的對稱表面的3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，例如凹面球面透鏡和凸面球面透鏡。測量工作臺(tái)的設(shè)計(jì)能夠確保測量大多數(shù)的透鏡,而不受任何球形偏離、罕見頂端形狀（平頭）、傾斜或者反射點(diǎn)圖的限制。在標(biāo)準(zhǔn)操作模式下，需要提供測試表面的理論描述，這些描述一般取決于曲面半徑、圓錐形常數(shù)以及球面系數(shù)（偶次與奇次）。測量平臺(tái)軟件包默認(rèn)設(shè)置包含了拋光和粗磨元件的測量。
粗磨透鏡
獨(dú)特的多波長干涉技術(shù)（MWLI）能夠?qū)崿F(xiàn)粗糙表面（如粗磨透鏡）的測量。同一測量平臺(tái)能夠滿足從 毛坯到超高精度頭透鏡的各項(xiàng)指標(biāo)的測量。
特殊形狀
盡管儀器專為測量旋轉(zhuǎn)對稱部件而設(shè)計(jì)的，但其仍舊能夠測量偏差較小的球面、非球面或者平面等自由表面部件。例如橢圓體的X射線透鏡或者光束整形元件。
更多應(yīng)用
除了標(biāo)準(zhǔn)的測量應(yīng)用外，還可以使用LuphoScan測量平臺(tái)的特殊擴(kuò)展工具LuphoSwap不同擴(kuò)展功能，來完成多種光學(xué)要素特征的測量(參見第8-9頁)。該工具能夠輔助測量透鏡厚度，以及楔形與偏心誤差。除此之外，額外的附加軟件類型能夠直接測量間斷的透鏡，如分段表面包括矩形部件、環(huán)形透鏡、有衍射階量。梯的表面和錐透鏡(參考10-11頁的目錄)。
局部透鏡測量
安裝了LuphoSwap透鏡夾具的LuphoScan 260
使用LuphoSwap擴(kuò)展功能完成對光學(xué)部件形狀誤差特性的測量
成就：
LuphoScan 260和LuphoScan 420測量平臺(tái)可以應(yīng)用LuphoSwap的擴(kuò)展功能，來對透鏡兩個(gè)表面的所有特征進(jìn)行連續(xù)的測量。一個(gè)特殊的測量概念能夠?qū)蓚€(gè)表面的測量結(jié)果相關(guān)聯(lián)起來。這個(gè)概念就是在測量形狀誤差的同時(shí)，LuphoSwap能夠確定透鏡兩側(cè)表面的**的厚度、楔形度和偏心度誤差以及旋轉(zhuǎn)定位。此外，還能夠確定透鏡底座位置。這個(gè)強(qiáng)大的軟件工具功能來自于LuphoSmart傳感器技術(shù)，一個(gè)獨(dú)特的概念模式，以及額外的（跳動(dòng)）基準(zhǔn)傳感器。
測量原理：
在標(biāo)準(zhǔn)的操作模式下，輸入兩側(cè)表面的理論描述（包括Roc、錐面常數(shù)和非球面常數(shù)）。所需測量的透鏡安裝在特殊的LuphoSwap底座上，然后可進(jìn)行**個(gè)表面的測量。隨后，放在透鏡的支架會(huì)被翻轉(zhuǎn)（如圖所示），開始進(jìn)行另一個(gè)表面的測量。除標(biāo)準(zhǔn)掃描程序外，被測物傳感器會(huì)用于測量每個(gè)表面對于校準(zhǔn)的LuphoSwap支架的精準(zhǔn)定位。這樣軟件就能自動(dòng)定義所有的幾何參數(shù)（厚度）和被測透鏡的誤差（形狀、楔形度和偏心度）。因此，使用該軟件和使用標(biāo)準(zhǔn)LuphoScan測量平臺(tái)測量透鏡一樣容易。
測量精度
從0到90度角度的錐透鏡非球面衍射透鏡環(huán)形球面
通過軟件附加項(xiàng)增強(qiáng)測量的靈活性
模式1:局部透鏡
此模式用于測量局部透鏡，例如矩形透鏡。測量平臺(tái)能夠控制位移臺(tái)確保連續(xù)的螺旋式掃描，并能夠自動(dòng)識別和忽略來自非被測物體的信號。
?基礎(chǔ)面形狀:非球面、球面、平面
?形狀測量精度: ±50nm(2σ)
?自動(dòng)化表面屏蔽
?可與“環(huán)形透鏡”和“錐透鏡”模式相結(jié)合使用
局部非球面與設(shè)計(jì)曲面的偏差
LuphoScan測量平臺(tái)的幾個(gè)附加軟件功能能夠?qū)Σ煌愋?、非連續(xù)的光學(xué)透鏡進(jìn)行直接測量。這些測量模式主要基于完整的多波長干涉技術(shù)（MWL1）。它們能夠進(jìn)行局部透鏡、環(huán)形透鏡、錐透鏡、圓錐體和非球面衍射透鏡的3D測量。每個(gè)測量模式都配有復(fù)雜的數(shù)據(jù)分析工具。此外，所有標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)選項(xiàng)都可選。當(dāng)然，所有能使用LuphoScan測量平臺(tái)測量的材料都可用這些測量模式。
的幾個(gè)附加軟件功能能夠?qū)Σ煌愋汀⒎沁B續(xù)的光學(xué)透鏡進(jìn)行直接測量。這些測量模式主要
非球面局部透鏡測量
